连接材料计算与实验,探索微纳制造、光电器件及能源与环境催化。
以多尺度模拟、材料数据与 AI 连接机制和工艺。
研究选择性 ALD、原子层刻蚀与低介电薄膜。
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关注能源材料与环境催化研究。
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